法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-05-14
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/60 授权公告日:20090916 终止日期:20130322 申请日:20060322
专利权的终止
2009-09-16
授权
授权
2008-05-07
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-03-12
公开
公开
机译: 加热装置,回流装置,加热方法和隆起形成方法
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