一种用于测量圆度误差和回转误差的自补偿三点法

摘要

本发明公开了一种用于测量圆度误差和回转误差的自补偿三点法，该方法包括如下步骤：对主轴不同角度上布置的三个位移传感器采集的位移数据进行处理，得到两组圆度误差的各阶谐波傅里叶系数的估计值。针对传统三点法中得到对每阶谐波，若传递系数绝对值小于某一阈值，则将该阶谐波分量以修改三点法计算的谐波分量替换，得到一组新的傅里叶系数的序列。通过傅里叶逆变换，得到最终圆度误差的估计值。再用第一个传感器测得的径向跳动数据在每一个角位置都减去所对应的圆度误差估计值，得到主轴的回转误差的估计值。本发明在保持多点法可在线测量、操作步骤少的优点的基础上，只需要一组测试数据即可实现测试球圆度误差和主轴径向回转误差的精确分离。