半导体制造流程辅助决策系统

摘要

一种计算机应用技术领域的半导体制造流程辅助决策系统，其中：门户系统模块是用户登陆系统的平台，可以分别调用制造流程管理模块、流程信息建模模块、调用数据应用管理模块；制造流程管理模块负责对各制造过程中的流程运行、返工处理、生产进度、统计报表进行管理，流程运行中收集的信息和运行记录保存到资源库模块中；流程信息建模模块建立或更新各类制造流程模板，编辑好的模板保存到资源库模块；数据应用管理模块对资源库模块中的数据进行管理和维护；资源库模块负责对半导体制造相关信息和数据进行存储。本发明能够有效整合企业原本零散的制造工艺信息，减少试验工作量和试验时间。