公开/公告号CN113862671B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-08-02
原文格式PDF
申请/专利权人 科汇纳米技术(深圳)有限公司;
申请/专利号CN202111124614.7
申请日2021-09-25
分类号C23C28/00(2006.01);C23C16/26(2006.01);C23C16/50(2006.01);C23C14/16(2006.01);C23C14/06(2006.01);C23C14/02(2006.01);C23C14/35(2006.01);
代理机构北京维正专利代理有限公司 11508;北京维正专利代理有限公司 11508;
代理人黄勇;任志龙
地址 518101 广东省深圳市宝安区福永街道桥头社区重庆路2号第2栋第二层厂房
入库时间 2022-09-06 00:38:11
机译: 基于类金刚石制品的弯曲特性,使用类金刚石碳(DLC)涂层和具有氧含量的保护膜的保护膜制备热处理的涂层制品的方法
机译: 基于类金刚石制品的弯曲特性,使用类金刚石碳(DLC)涂层和具有氧含量的保护膜的保护膜制备热处理的涂层制品的方法
机译: 类金刚石膜的产品,以及制造该类膜的设备和方法,以防止类金刚石膜的机械性能降低