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PVD-CVD联用制备类金刚石膜的方法、类金刚石膜、合金材料及汽车部件

摘要

本申请涉及类金刚石层领域,尤其涉及一种PVD‑CVD联用制备类金刚石膜的方法、类金刚石膜、合金材料及汽车部件。PVD‑CVD联用制备类金刚石膜的方法,先在基材表面通过PVD法依次镀制Cr层、CrW层以及WC层;之后在所述WC层上通过CVD法镀制类金刚石层。类金刚石膜,采用上述PVD‑CVD联用制备类金刚石膜的方法制备而得,类金刚石膜包括依次叠合的Cr层、CrW层、WC层以及类金刚石层,Cr层与基材连接。合金材料,其表面镀制有上述类金刚石膜。汽车部件,其采用上述合金材料制成。本申请通过在基材表面依次镀制Cr层、CrW层及WC层而构成了一个性能渐变的过渡层,使从基材到类金刚石层的性能变化更加缓和,从而减少了“蛋壳效应”的产生,有利于类金刚石层更好的发挥作用。

著录项

  • 公开/公告号CN113862671B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-08-02

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 科汇纳米技术(深圳)有限公司;

    申请/专利号CN202111124614.7

  • 发明设计人 龙丹;林勇刚;王立利;

    申请日2021-09-25

  • 分类号C23C28/00(2006.01);C23C16/26(2006.01);C23C16/50(2006.01);C23C14/16(2006.01);C23C14/06(2006.01);C23C14/02(2006.01);C23C14/35(2006.01);

  • 代理机构北京维正专利代理有限公司 11508;北京维正专利代理有限公司 11508;

  • 代理人黄勇;任志龙

  • 地址 518101 广东省深圳市宝安区福永街道桥头社区重庆路2号第2栋第二层厂房

  • 入库时间 2022-09-06 00:38:11

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