一种极小尺寸红外窄带镀膜滤光片的加工方法

摘要

本发明属于光学元件加工技术领域，尤其涉及一种极小尺寸红外窄带镀膜滤光片的加工方法，其特征在于，包括基片清洗、划片、基片切割、扩膜，以及对分别对玻璃小片两面的高温溅射镀膜和对普通UV胶带、耐高温UV胶带的解胶等步骤。通过本发明所述方法制备滤光片，具有良率高(崩边不良率大概控制在3％以内)，操作简单(仅需贴膜、解胶、揭膜)，可完美避开因玻璃基片太薄，无法承受较大镀膜应力而产生的基片破裂问题；并可完美解决基片在单面镀膜、成膜过程中，因膜层太厚导致翘曲大而引起镀膜或下片过程中产生的破裂问题，突破了膜系设计限制，且侧面有膜层沉积，此可防止外界光线干扰。