法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-03-26
专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/312 变更前: 变更后: 登记生效日:20140305 申请日:20050323
专利申请权、专利权的转移
2009-08-05
授权
授权
2007-06-13
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-04-18
公开
公开
机译: 由此产生的电子器件以及用于制造超低介电常数材料作为半导体器件中的层内或层间电介质的改进方法。
机译: 超低介电常数材料,用作半导体器件中的层内或层间电介质
机译: 超低介电常数材料,用作半导体器件的层内或层间电介质