一种高锆含量铅系复合反铁电薄膜的低温制备方法

摘要

本发明涉及一种高锆含量铅系复合反铁电薄膜的制备方法技术领域。本发明所述的高锆含量铅系复合反铁电薄膜的低温制备方法，采用溶胶凝胶法配制前驱溶液，采用旋转涂覆的方式在LaNiO₃/SiO₂/Si或LaNiO₃/Si基片上涂覆凝胶膜；然后将凝胶膜在450℃-500℃放置5～20分钟，取出后冷却，再涂覆下一层，循环往复直到获得所需厚度的薄膜；再将涂覆好的薄膜在500℃下处理，最后溅射上电极。本发明利用溶胶凝胶的方法，以LaNiO₃/SiO₂/Si或LaNiO₃/Si为基底，使凝胶膜在钙钛矿结构的LaNiO₃电极材料的诱导下在450℃下结晶，再在500℃下长大，使薄膜具有良好的电学性能。