用于测试头的接触探针和用于实现接触探针的方法

摘要

本发明描述一种用于有效测试多个半导体集成电子器件的测试头的接触探针(40)。接触探针(40)包括杆状探针体(41)，杆状探针体具有预定轮廓的横截面，并设置与具有偏心接触测尖(P)的至少一个尖端部相对应。根据本发明，有利的是，接触测尖(P)被定位在探针体横截面的轮廓内。本发明还描述一种包括具有垂直探针的测试头和用于实现具有偏心接触测尖的接触探针的方法，所述测试头包括多个具有偏心接触测尖(P)的接触探针(40)。