公开/公告号CN111266139B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-06-07
原文格式PDF
申请/专利权人 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方传感技术有限公司;
申请/专利号CN202010136822.8
申请日2020-03-02
分类号B01L3/00;G01K7/22;G05D23/24;
代理机构北京市立方律师事务所;
代理人张筱宁;宋海斌
地址 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号
入库时间 2022-08-23 13:48:04
机译: 温度测量装置的校准方法,光刻设备和物品的制造方法