静电驱动MEMS微镜阵列及其制备方法

摘要

本发明提供一种静电驱动MEMS微镜阵列及其制备方法，微镜阵列包括：N个静电驱动MEMS微镜及隔离槽；每个微镜包括：由可动镜面及固定支撑结构形成的可动微光反射镜结构；位于可动微光反射镜结构下方的可动平台结构；上梳齿结构及下梳齿结构，下梳齿结构的一侧形成有第一上电极引线槽及电极隔离槽；带有运动空间的基底，基底上形成有第二上电极引线槽和下电极引线槽，第一、二上电极引线槽对齐贯通形成上电极引线槽；镜面反射层及焊盘。将可动微光反射镜结构设置于微驱动器的上方，可以达到很高的占空比，可实现大尺寸大转角可动微光反射镜结构的制作；工艺简单可控，可适于大规模生产，并且可动微光反射镜结构的形状、厚度等可灵活选择，应用范围广。