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公开/公告号CN109540050B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-05-24
原文格式PDF
申请/专利权人 三星电子株式会社;
申请/专利号CN201811117478.7
发明设计人 朴爰柱;李亨周;崔硕桓;南东锡;韩允泽;
申请日2018-09-20
分类号G01B15/00;H01L21/66;
代理机构北京市柳沈律师事务所;
代理人邵亚丽
地址 韩国京畿道
入库时间 2022-08-23 13:43:11
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