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公开/公告号CN109888025B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-05-13
原文格式PDF
申请/专利权人 哈尔滨工业大学;
申请/专利号CN201910219155.7
发明设计人 刘超铭;李何依;王天琦;张延清;齐春华;马国亮;霍明学;
申请日2019-03-21
分类号H01L29/868;H01L21/04;H01L21/336;
代理机构
代理人
地址 150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
入库时间 2022-08-23 13:38:59
机译:基于声光可调谐滤波器角位移补偿方法研究