一种GCr15轴承钢球表面强化的离子注入工艺

摘要

一种GCr15轴承钢球表面强化的离子注入工艺选用氮和钛两种注入元素，通过束线性强流双元素离子注入机注入，注入方式为单能量，采用100KeV的注入能量，先注入钛后注入氮，注入剂量控制在2.0～3.0×10¹⁷Ti+2.0～3.0×10¹⁷N；将直线离子束注入到表面为曲面的钢球上，不同直径的钢球产生不同的折射效应，故注入剂量需按照钢球实际尺寸和性能要求在注入剂量范围内调整，使注入钢球的表面氮离子浓度达到18%以上，钛离子浓度达到10%以上，均匀性大于85%。使用该注入工艺可以使钢球表面离子注入的深度、浓度及均匀性得到保证，具有较高的硬度、较好的耐磨耐蚀性能、较长的疲劳寿命及较高的可靠性。