基于α-Ga2O3/TiO2异质结的日盲紫外探测器及其制备方法

摘要

本发明属于光电转换技术领域，具体涉及一种基于α‑Ga2O3/TiO2异质结的日盲紫外探测器及其制备方法，所述探测器从下至上包含透明导电衬底、α‑Ga2O3/TiO2异质结光敏层、石墨烯‑银纳米线透明电极层和第一金属电极层，还包括设置于透明导电衬底上的第二金属电极层；所述α‑Ga2O3/TiO2异质结光敏层包括若干阵列分布的α‑Ga2O3/TiO2异质结纳米柱，α‑Ga2O3/TiO2异质结纳米柱包括内核α‑Ga2O3纳米柱、包覆于所述内核α‑Ga2O3纳米柱侧壁和靠近所述石墨烯‑银纳米线透明电极层一端的TiO2层。本发明的探测器利用α‑Ga2O3/TiO2异质结促进了光生载流子的自动分离，以石墨烯‑银纳米线复合膜做透明上电极，大大提高了探测器的有效光照面积，从而获得高的光响应度。