精密定位平台Pitch值的测量系统及方法

摘要

本发明公开了一种精密定位平台Pitch值的测量系统及方法，该系统包括：测量底座；测量模块，测量精密定位平台的第一轴和第二轴上各坐标点对应的距离值；计算模块，计算精密定位平台的第一轴和第二轴上各坐标点对应的Pitch值；优化模块，根据各坐标点对应的Pitch值拟合出各坐标点与Pitch值的二维曲线，并以二维曲线的第一个点为基准点，将Pitch值高于或低于基准点对应的Pitch值的坐标点作为待调节点，并根据基准点对应的Pitch值对待调节点对应的Pitch值进行优化。本发明能够有效测量精密定位平台的Pitch值，具有测量结果准确性高，结构简单，调节简便，成本低，工作效率高的优点。