工件侧面成像系统、缺陷检测系统及工件侧面成像方法

摘要

本申请提供了一种工件侧面成像系统、缺陷检测系统及工件侧面成像方法，涉及工件缺陷检测技术领域。工件侧面成像系统，包括：载物台、超远心镜头及点光源；其中超远心镜头位于载物台的一侧；点光源位于载物台的另一侧，且与超远心镜头中心线的第一距离在5mm～100mm范围内。该工件侧面成像系统，以点光源替换常规的普通环性光源或板光源，结合超远心镜头，在为工件侧面成像时，可以显著提升工件侧面图像的清晰度，进而有效提升工件侧面缺陷检测的准确率。尤其对微小缺陷检测的效果尤为明显。