基于复合激励方式的多自由度压电陶瓷棒状微马达

摘要

本发明公开了属于精密机械中的压电微电机技术领域的一种基于复合激励方式的多自由度压电陶瓷棒状微马达。是根据压电陶瓷棒的一阶伸缩振动模态谐振频率和前两阶弯曲振动模态的谐振频率可出现相同点的两种振动模态的共同作用下，利用一阶或二阶复合振动模态激励方式制成两个自由度的平面驱动器结构和三个自由度的球驱动器结构的压电陶瓷棒状微马达。其陶瓷棒放入套筒中，套筒壁上嵌有橡胶环，钢珠和弹簧放入套筒上孔中，并用螺栓旋入套筒此孔；定子套入陶瓷棒的另一端，并粘接牢固而制成马达。本马达具有尺寸微小，结构简单，压电微马达的直径在0.5到10mm之间。并且具有大力矩，快速响应等特点，应用前景比较广阔。