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公开/公告号CN100491971C
专利类型发明授权
公开/公告日2009-05-27
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
申请/专利号CN200610027341.3
发明设计人 李铁;王翊;周宏;王跃林;林心如;奚庆中;
申请日2006-06-07
分类号G01N21/25(20060101);G01J3/18(20060101);
代理机构31002 上海智信专利代理有限公司;
代理人潘振甦
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
入库时间 2022-08-23 09:02:28
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2009-05-27
授权
2007-01-17
实质审查的生效
2006-11-22
公开
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