首页> 中国专利> 厚膜构件图案的制造方法和图像形成装置的制造方法

厚膜构件图案的制造方法和图像形成装置的制造方法

摘要

本发明提供一种可以以较少的工序数制造在立体形状上表现出色的厚膜构件图案的制造方法。为此,在基片(1)上叠层第一前驱体层(2a)和因烘烤所引起的收缩率大于第一前驱体层(2a)的第二前驱体层(3a),并对该叠层体(4)进行总括曝光、显影、烘烤,以获得边缘部为正锥形的膜厚构件图案。

著录项

  • 公开/公告号CN100504601C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2009-06-24

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 佳能株式会社;

    申请/专利号CN200510081831.7

  • 发明设计人 渡边治;铃木正明;

    申请日2005-06-30

  • 分类号G03F7/00(20060101);G03F7/20(20060101);H01L21/027(20060101);

  • 代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;

  • 代理人岳耀锋

  • 地址 日本东京

  • 入库时间 2022-08-23 09:02:29

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2015-08-26

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/095 授权公告日:20090624 终止日期:20140630 申请日:20050630

    专利权的终止

  • 2009-06-24

    授权

    授权

  • 2006-03-01

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2006-01-04

    公开

    公开

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