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用于后端工艺(BEOL)互连件的借助使用自底向上交联的电介质的图像色调反转

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摘要

说明了用于后端工艺(BEOL)互连件的借助使用自底向上交联的电介质的图像色调反转。在示例中，一种包括金属化层的半导体结构，包括衬底上方的层间电介质(ILD)层中的多个沟槽。预催化剂层在多个沟槽中的一个或多个沟槽(但不是全部沟槽)的侧壁上。电介质材料的交联部分在多个沟槽中的一个或多个沟槽中靠近预催化剂层。导电结构在沟槽中的剩余沟槽中。

著录项

公开/公告号CN108012561B

专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-04

原文格式PDF
申请/专利权人英特尔公司;
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申请/专利号CN201580080204.3
发明设计人 R·L·布里斯托尔;J·M·布莱克韦尔;R·胡拉尼;
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申请日2015-06-22
分类号H01L21/02(20060101);H01L21/768(20060101);
代理机构72002 永新专利商标代理有限公司;
代理人陈松涛;韩宏
地址美国加利福尼亚
入库时间 2022-08-23 13:12:52

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专利
中文文献
外文文献

1. 用于后端工艺(BEOL)互连件的借助使用自底向上交联的电介质的图像色调反转 [P] . 中国专利： CN108012561B . 2022.03.04
2. 用于后端工艺（BEOL）互连件的借助使用自底向上交联的电介质的图像色调反转 [P] . 中国专利： CN108012561A . 2018-05-08
3. Image tone-reversal with a dielectric using bottom-up cross-linking for back end of line (BEOL) interconnects [P] . 美国专利： US10269623B2 . 2019-04-23

机译：使用自底向上交联的电介质对线后端（BEOL）互连进行图像色调反转
4. Image tone reversal by dielectric using bottom-up cross-linking for Back End of Line (BEOL) interconnect [P] . 韩国专利： KR20180019079A . 2018-02-23

机译：使用自底向上的线后端（BEOL）互连通过电介质反转图像色调
5. IMAGE TONE-REVERSAL WITH A DIELECTRIC USING BOTTOM-UP CROSS-LINKING FOR BACK END OF LINE (BEOL) INTERCONNECTS [P] . 欧洲知识产权局专利： EP3311404A4 . 2019-02-20

机译：使用自底向上交联的介电介面进行图像色调反转，以实现线后端（BEOL）互连