一种合晶硅材料生产废水资源化利用处理工艺

摘要

本发明公开了一种合晶硅材料生产废水资源化利用处理工艺，针对合晶硅材料生产废水的水质特点（其水量较大且分部不均、污染物较多、污水的来源较多），采用电氧化和超声高级氧化，去除COD和有机物，采用超滤系统回收硅粉，通过添加CaCl2除氟结合超滤系统去除生成的沉淀CaF2，硅片酸蚀淋洗塔废水进入酸回收系统回收酸后，进入超滤系统回收硅粉，然后添加CaCl2除氟后剩余清液进入脱氮系统；脱氮系统采用膜分离技术脱氮后进入脱盐系统；脱盐系统采用反渗透脱盐后进行DTRO超高压反渗透浓缩，制得的纯水回用，浓水蒸发脱盐。本发明的合晶硅材料生产废水资源化利用处理工艺的系统稳定性高、运行费用低、处理水质达标且稳定高效。