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新的鎓盐、化学放大抗蚀剂组合物和图案化方法

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摘要

本发明为新的鎓盐、化学放大抗蚀剂组合物和图案化方法。提供新的鎓盐和包含其作为PAG的抗蚀剂组合物。当通过使用KrF或ArF准分子激光、EB或EUV的光刻法进行处理时，抗蚀剂组合物的酸扩散降低，曝光裕度、MEF和LWR改善。

著录项

  • 公开/公告号CN111087334B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-03-01

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 信越化学工业株式会社;

    申请/专利号CN201911010673.4

  • 发明设计人 福岛将大;

    申请日2019-10-23

  • 分类号C07C381/12(20060101);C07D207/28(20060101);C07D209/58(20060101);C07D333/46(20060101);C07D207/273(20060101);G03F7/004(20060101);G03F7/20(20060101);

  • 代理机构11038 中国贸促会专利商标事务所有限公司;

  • 代理人杜丽利

  • 地址 日本东京

  • 入库时间 2022-08-23 13:11:14

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