公开/公告号CN111706499B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-01
原文格式PDF
申请/专利权人 成都数之联科技有限公司;
申请/专利号CN202010515448.2
发明设计人 不公告发明人;
申请日2020-06-09
分类号F04B51/00(20060101);F04B49/10(20060101);G06Q10/00(20120101);G06Q10/04(20120101);G06Q10/08(20120101);
代理机构51316 成都云纵知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人熊曦
地址 610041 四川省成都市武侯区一环路西一段菊乐路口1栋4层2号
入库时间 2022-08-23 13:11:04
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-01
授权
发明专利权授予
机译: 半导体制造装置,真空泵寿命预测方法和真空泵维修时间确定方法
机译: 真空泵系统,真空泵异常预测的通知方法
机译: 真空泵装置和真空泵装置的电子部件的使用寿命预测方法