公开/公告号CN108886066B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-02-22
原文格式PDF
申请/专利权人 浜松光子学株式会社;
申请/专利号CN201780015060.2
申请日2017-01-31
分类号H01L31/02(20060101);
代理机构11322 北京尚诚知识产权代理有限公司;
代理人杨琦;陈明霞
地址 日本静冈县
入库时间 2022-08-23 13:09:32
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