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物理量检测振动片、物理量检测装置、电子设备及移动体

摘要

本发明提供一种物理量检测振动片、物理量检测装置、电子设备及移动体。振动片(1)具有:检测臂(221),其沿着Z轴方向进行驱动振动,且通过被施加角速度而沿着X轴方向进行检测振动;第一电极部(331)、第二电极部(332)、第三电极部(341)、第四电极部(342)以及第一接地电极部(351)、第二接地电极部(352)、第三接地电极部(353)、第四接地电极部(354),它们被配置在检测臂(221)上。并且,第一电极部(331)与第一接地电极部(351)之间所产生的信号和第二电极部(332)与第二接地电极部(352)之间所产生的信号在驱动振动时为反相,在检测振动时为同相。此外,第三电极部(341)与第三接地电极部(353)之间所产生的信号和第四电极部(342)与第四接地电极部(354)之间所产生的信号在驱动振动时为反相,在检测振动时为同相。

著录项

  • 公开/公告号CN106969760B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-02-18

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 精工爱普生株式会社;

    申请/专利号CN201610947746.2

  • 发明设计人 石井昌宏;山口啓一;菊池尊行;

    申请日2016-10-26

  • 分类号G01C19/5656(20120101);G01C19/5649(20120101);

  • 代理机构11225 北京金信知识产权代理有限公司;

  • 代理人苏萌萌;许梅钰

  • 地址 日本东京

  • 入库时间 2022-08-23 13:08:27

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