非接触式测头和操作方法

摘要

一种使物体上的感兴趣特征和安装在定位设备上的非接触式测头的光学检查系统成期望关系的方法。该方法包括：a)通过把该非接触式测头和该物体布置成第一相对配置来识别待检查的物体上的目标感兴趣点，在该第一相对配置下，由该非接触式测头沿着与该光学检查系统的光轴不同轴的投影仪轴线投射的标记特征识别该目标感兴趣点；以及b)随后移动该非接触式测头和/或该物体，以使得该非接触式测头和/或该物体成第二相对配置，在该第二相对配置下，该目标感兴趣点和该光学检查系统成该期望关系，其中该定位设备被配置用于根据控制路径来引导此类运动。