相位调制改变PECVD放电腔内电磁场分布的方法

摘要

在具有射频电源的PECVD放电腔内，通过相位调制器将电极板上的不同电源馈入点间设置不同的相位，并在等离子体响应时间内，改变相位差以及此相位差的持续时间从而改善等离子体所响应的电磁场的均匀性。