一种多频自聚焦微机械超声换能器

摘要

本发明公开了一种多频自聚焦微机械超声换能器，包括二种以上频率的振元，相同频率的振元组成一个振元阵列；任一所述的振元阵列由至少一组圆环状排列的振元组成，所述振元阵列的圆环中心相互重合；并且任一所述的振元所处圆环半径由公式(1)确定。本发明的微机械超声换能器采用环形阵列结构，通过设计MUT阵列器件振元以及其在器件上的分布，在单一MUT器件上实现了多频和自聚焦的功能。