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公开/公告号CN111416032B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-02-18
原文格式PDF
申请/专利权人 北京航空航天大学;
申请/专利号CN201910014872.6
发明设计人 赵立东;胡学高;
申请日2019-01-08
分类号H01L35/34(20060101);H01L35/16(20060101);C30B11/02(20060101);C30B29/46(20060101);
代理机构11569 北京高沃律师事务所;
代理人刘奇
地址 100000 北京市海淀区学院路37号
入库时间 2022-08-23 13:07:53
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