非水性钨相容性金属氮化物选择性蚀刻剂和清洁剂

摘要

因此，本文提供了一种新型酸性氟化物活化的清洁化学品。本发明包括新型酸性氟化物活化的、独特的基于有机溶剂的微电子选择性蚀刻剂/清洁剂组合物，其具有高金属氮化物蚀刻和广泛、优异的相容性(包括与钨(W)和低k材料)。其不使用W不相容性氧化剂如过氧化氢或产生颗粒的腐蚀抑制剂。