一种朗缪尔探针多麦斯威尔电子分布自动化分析方法

摘要

本发明公开了一种朗缪尔探针多麦斯威尔电子分布自动化分析方法，是自动根据多麦斯威尔电子能量分布拟合探针伏安曲线的数据，并自动判定单、双、三麦斯威尔哪一种分布更能符合所分析的伏安曲线所代表的等离子体电子分布的分析方法，以及根据这种方法所搭建的软件系统。通过实现朗缪尔探针伏安曲线多个麦斯威尔分布分析的自动化，能在相关实验中大幅减少实现相关实验方法所需的人力时间，令一些每次实验涉及百条甚至千条曲线的研究工作在实现上变得可能。