公开/公告号CN111198441B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-02-08
原文格式PDF
申请/专利权人 英飞凌科技股份有限公司;
申请/专利号CN201911086767.X
申请日2019-11-08
分类号G02B26/08(20060101);
代理机构11256 北京市金杜律师事务所;
代理人郭星
地址 德国诺伊比贝尔格
入库时间 2022-08-23 13:05:00
机译: 自适应和上下文感知的微机电系统(MEMS)反射镜控制
机译: --MEMS自适应和上下文感知微机电系统MEMS镜面控制
机译: 光学数据通信使用微机电系统(MEMS)微镜阵列