一种基于结晶学工程的具有多级多畴纳米结构的钙钛矿铁电薄膜及其制备方法

摘要

本发明提供了一种基于结晶学工程的具有多级多畴纳米结构的钙钛矿铁电薄膜，所述多级多畴纳米结构由单一的(a1，c)/(a2，c)多畴带排列而成，其中，所述钙钛矿铁电薄膜为(111)取向的Pb(Zr0.2Ti0.8)O3外延薄膜。本发明提供的钙钛矿铁电薄膜中的多级多畴纳米结构由单一的(a1，c)/(a2，c)多畴带排列而成，增强了钙钛矿铁电薄膜的电学特性，与没有这样多级多畴纳米结构的钙钛矿铁电薄膜相比，除了降低矫顽场和增强介电响应之外，还增强了铁电极化，并大大提高了耐疲劳性。