首页> 中国专利> 机台装置、制造设备和制造设备的操作方法

机台装置、制造设备和制造设备的操作方法

摘要

本发明涉及一种机台装置、制造设备和制造设备的操作方法。本发明揭示一种机台装置,其包含机台本体、工作区和至少一个工件放置区。所述机台本体具有前部分、后部分和二侧部分,所述后部分是相对所述前部分,所述侧部分延伸于所述前部分和所述后部分之间。所述工作区位于所述机台本体,用以对待加工工件进行加工。所述工作区朝向所述前部分开放。所述工件放置区位于所述机台本体的所述侧部分中的一个处,用以放置所述工件。所述工件放置区的位置对应于所述工作区与所述后部分之间的位置。

著录项

  • 公开/公告号CN111293045B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-02-01

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 日月光半导体制造股份有限公司;

    申请/专利号CN201910445361.X

  • 发明设计人 蔡耀德;庄智阳;

    申请日2019-05-27

  • 分类号H01L21/60(20060101);H01L21/677(20060101);

  • 代理机构11287 北京律盟知识产权代理有限责任公司;

  • 代理人蕭輔寬

  • 地址 中国台湾高雄市楠梓加工区经三路26号邮编81170

  • 入库时间 2022-08-23 13:03:52

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号