压电式位移装置及原子力显微镜

摘要

本发明涉及一种压电式位移装置，包括基体、第一位移台和第一限位组件。第一位移台沿第一方向活动设置于基体。第一限位组件设置于基体和第一位移台之间，第一限位组件沿与第一方向垂直的方向压紧第一位移台，第一限位组件用于保持第一位移台沿第一方向运动。本发明还涉及一种包括上述压电式位移装置的原子力显微镜。上述压电式位移装置及原子力显微镜，第一位移台能够相对于所述基体沿第一方向移动，并且通过第一限位组件对第一位移台沿与第一方向垂直的方向压紧第一位移台，第一限位组件避免了第一位移台在正常运动过程中产生其他方向的运动，进而实现了第一位移台带动探针或光电位置转换器的高精度、高直线性、高可重复性的位移。