紧密排布的复合二氧化硅纳米球阵列结构及仿蛾眼减反结构和制备方法

摘要

本发明公开了一种紧密排布的复合SiO2纳米球阵列结构及仿蛾眼减反结构和制备方法，通过实心、空心SiO2纳米球组装紧密排布的复合纳米球阵列结构，然后在此阵列结构上，组装实心SiO2纳米球，制备出高透过率的SiO2纳米球仿蛾眼减反结构。该减反结构在可见光波段具有高透过率且入射光角度依赖小。SiO2纳米球仿蛾眼减反结构在光伏电池、平板显示器等光电设备中具有很高的应用价值。