基于TRM校准的表贴无源器件S参数测量装置及方法

摘要

本发明公开了一种基于TRM校准的表贴无源器件S参数测量装置及方法。该装置包括用于测量表贴无源器件S参数的矢量网络分析仪、用于校准矢量网络分析仪的校准件以及用于将矢量网络分析仪与表贴无源器件相连的双端口串联测试夹具。在采用单端口SOLT校准方法校准矢量网络分析仪以消除矢量网络分析仪本身误差的基础上，又采用双端口TRM校准方法校准矢量网络分析仪以消除测试夹具引入的误差，从而可以直接测量得到表贴无源器件的S参数文件，也使得本发明提高了表贴无源器件S参数的准确性。