一种基于四麦克斯韦力直线作动器驱动的快速偏摆镜

摘要

本发明公开一种基于四麦克斯韦力直线作动器驱动的快速偏摆镜，包括反射镜、麦克斯韦力直线作动器、柔性支撑系统、角度检测系统和框架组件；反射镜安装在反射镜支架上，与传感器感应板和挠性膜片共同组成运动组件，四个麦克斯韦力直线作动器位于运动组件的下方，通过退磁螺钉与运动组件相连；四个麦克斯韦力直线作动器两两正交排布，产生扭矩使反射镜发生偏转；柔性支撑系统针对作动扭矩提供恢复扭矩以实现角度控制；角度检测系统中的四个非接触式电容位移传感器均布在四个方向，实时检测反射镜的转向角度并将其反馈给控制系统，实现角度反馈控制和角度闭环控制。本发明具有高力密度，结构紧凑，且便于加工制造等优点。