一种太阳能电池暗场锁相热成像分层微缺陷精准表征系统与方法

摘要

本发明公开了一种太阳能电池暗场锁相热成像分层微缺陷精准表征系统与方法，所述系统包括红外热像仪、数据采集卡、计算机、三维移动台、金属样件台、水冷散热板、真空吸附装置、样件夹具、水冷泵、真空泵和直流电源，其中：三维移动台上设置有红外热像仪和水冷散热板；水冷散热板上设置有金属样件台和真空吸附装置；水冷散热板与水冷泵相连；真空吸附装置与真空泵相连；金属样件台上设置有样件夹具；直流电源的正极与金属样件台相连，负极与样件夹具相连；红外热像仪分别与计算机和数据采集卡相连；数据采集卡分别与直流电源和计算机相连。本发明能对微缺陷进行精准表征，是一种直观、准确、大面积的检测方法。