用于半导体热处理设备的排风系统、半导体热处理设备

摘要

本发明提供了一种用于半导体热处理设备的排风系统，排风系统包括转接管、排风盒和隔离阀，转接管具有第一进风口和第一出风口；排风盒具有第二进风口和第二出风口；第一出风口与第二进风口之间设置有辅助密封板，辅助密封板上形成有第一开口，第一开口能将第二进风口和第一出风口连通；隔离阀的阀板设置在辅助密封板处，且第一开口的面积小于阀板的面积，以使得阀板处于关闭状态时能封闭第一开口。本发明还提供了一种半导体热处理设备，排风系统能够保证隔离阀完全封闭半导体热处理设备的排风口。