双热电堆平衡式微电子机械微波功率传感器及其制备方法

摘要

基于微电子机械技术的双热电堆平衡式微波功率传感器是一种利用热平衡从而测量微波的新型传感器。该传感器由第一共面波导传输线(1)接收待测微波信号，通过第一负载电阻(2)吸收此信号功率并转换为热量，该热量使设于负载电阻附近的第一热电堆(3)温度升高，从而产生电势差，通过第一对压焊块(4)输出，而在传感器的右端，设有同样结构的负载电阻、热电堆和共面波导传输线，由电压源(11)供电，第二热电堆(7)同样产生电势差，通过第二对压焊块(6)输出，调整电压源(11)的大小，使第二对压焊块(6)的输出电压与第一对压焊块(4)的输出电压相同，则第二负载电阻(8)上消耗的直流功率就等于待测微波功率，从而实现了微波功率的测量。