Thermoelectric; power sensor; MEMS; cantilever beam;
机译:具有翘曲悬臂梁电容微波功率传感器的高功率电力行为
机译:用于PWM MEMS压力传感器的表面微机械钼悬臂梁的制造及影响产量的问题
机译:基于MEMS悬臂梁的双通道微波功率传感器的测量精度研究
机译:具有悬臂梁的宽带微加工热电微波功率传感器的研究
机译:CMOS技术的微加工宽带热电偶微波功率传感器。
机译:MEMS技术的热电微波功率传感器3D模型
机译:多孔硅微加工制备悬臂梁用于流量传感器的特性
机译:线性梁研究与微波发电新概念。第一部分。降低高功率速调管中的杂散输出信号。第二部分。周期变化电子束的空间电荷波传播研究