微悬臂梁传感器工作模式理论分析研究

摘要

简要地介绍了微悬臂梁传感器的工作原理和主要特性，着重介绍了微悬臂梁传感器动、静态工作模式下的理论分析方法和提高灵敏度的主要方法。微悬臂梁传感器在动态工作模式下灵敏度极高，但在液态环境下使用易受到液体阻尼效应的影响，只适于在空气中运行使用；相对于动态模式，静态模式受液体黏性的影响较小，更适于在液态中使用。