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摘要
第一章 绪论
1．1 微电子机械系统
1．2 射频微电子机械系统
1．3 微波功率传感器
1．3．1 微波功率传感器的分类
1．3．2 微波功率传感器的热学分析
1．3．3 温度对MEMS微波功率传感器的影响分析
1．4 本论文的主要研究工作
1．4．1 目前存在的问题
1．4．2 主要研究工作
1．5 本章小结
第二章 MEMS微波功率传感器的原理与结构
2．1 微波分析
2．1．1 共面波导(CPW)特性分析
2．1．2 终端负载电阻
2．2 热电效应
2．2．1 热电效应——Seebeck效应
2．2．2 热电偶的基本定律
2．3 传热学的基本原理
2．3．1 三种基本传热方式
2．3．2 导热微分方程
2．4 间接加热式微波功率传感器的工作原理及基本结构
2．5 负载匹配电阻的温度分析
2．6 本章小结
第三章 MEMS微波功率传感器的模型、仿真及测试
3．1 基于傅里叶热方程的灵敏度模型
3．1．1 MEMS微波功率传感器的灵敏度及热传递方程
3．1．2 MEMS微波功率传感器的傅里叶热模型
3．1．3 傅里叶热模型的优化结果与验证
3．2 MEMS微波功率传感器灵敏度的测试
3．3 改进型傅里叶热模型及其分析
3．3．1 MEMS微波功率传感器的傅里叶热模型
3．3．2 傅里叶热模型的优化结果与验证
3．4 本章小结
第四章 新型MEMS微波功率传感器的研究
4．1 新型热隔离式MEMS微波功率传感器
4．1．1 新型热隔离式MEMS微波功率传感器的结构及工作原理
4．1．2 新型热隔离式MEMS微波功率传感嚣的热学模型
4．1．3 新型热隔离式MEMS微波功率传感器结构的ANSYS仿真分析
4．2 温度对于MEMS微波功率传感器的灵敏度影响实验
4．3 应用于低温环境下的MEMS微波功率传感器
4．3．1 应用于低温环境下的MEMS微波功率传感器的结构及工作原理
4．3．2 应用于低温环境下的MEMS微波功率传感器的特点
4．3．3 应用于低温环境下的MEMS微波功率传感器的ANSYS仿真
4．4 本章小结
第五章 MEMS微波功率传感器的工艺及版图设计
5．1 MEMS微波功率传感器的工艺设计
5．1．1 热隔离式MEMS微波功率传感器的工艺流程
5．1．2 应用于低温环境下的MEMS微波功率传惑器的工艺流程
5．2 MEMS微波功率传感器的版图设计
5．3 本章小结
第六章 总结与展望
6．1 论文总结
6．2 对后续工作的展望
致谢
参考文献
作者简介
发表文章及申请专利
