通过侧向视角成像来表征样本的高度轮廓

摘要

一种扫描探针显微镜(1)，特别是原子力显微镜，用于通过使探针(11)和样本(6)相对于彼此移动来分析样本(6)，其中扫描探针显微镜(1)包括：检测单元(60)，该检测单元包括侧向视角相机(90)，该侧向视角相机被布置和配置为以基本水平的侧向视角来检测样本(6)的图像；以及确定单元(80)，该确定单元用于基于检测到的图像来确定指示样本(6)的表面的至少一部分的轮廓的信息。