一种微波低反射的温度控制单元、超结构和设计方法

摘要

一种微波低反射的温度控制单元、超结构和设计方法，温度控制单元包含：顶层；底层，与顶层相对设置，包括距离顶层由近及远叠置的第一层体、金属反射层和第二层体；第一层体和第二层体设置导流过孔，使导流电路延伸至底层上背向顶层的一侧；金属反射层设置贯穿孔，使得导流电路与金属反射层绝缘隔离；至少一个半导体元件，设置于顶层与底层之间，并与导流电路相连，以提供顶层与底层间的热传导路径。通过对超结构中的温度控制单元进行特定排布，可对反射电磁波的相位进行有效地调制，从而实现表面温度的调节和微波的低反射双重功能，且该超结构制作工艺成熟、成本低、使用方便，有效地解决红外、微波兼容的难题。