一种BiFeO3薄膜及其制备方法

摘要

本发明提供一种BiFeO3薄膜及其制备方法，所述BiFeO3薄膜包括BiFeO3纳米点，所述BiFeO3纳米点包括菱形相/四方相混合相和纯四方相，其中菱形相/四方相混合相的比例为50～80％。所述BiFeO3薄膜的制备方法包括以下步骤：(1)在单晶衬底上外延生长一底电极层，然后在底电极层上外延生长一BiFeO3层，最后在BiFeO3层表面铺上一单层聚苯乙烯小球；(2)使用氧等离子分割单层聚苯乙烯小球；(3)使用氩离子束刻蚀BiFeO3层；(4)使用氯仿去除单层聚苯乙烯小球，得到BiFeO3薄膜。本发明将BiFeO3层刻蚀成纳米点来诱导相变，通过使用不同直径的聚苯乙烯小球，可以得到直径不同纳米点，通过控制氩离子束刻蚀时间可以得到不同的刻蚀深度，从而达到精准可控的目的，同时不破坏样品。