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SrTiO3衬底上BiFeO3薄膜的制备方法r与性能研究

         

摘要

在SrTiO3衬底上,用脉冲激光溅射制备BiFeO3单层膜,用XRD、AFM、SEM和EDS表征薄膜的晶体结构、表面形貌和组成.用X射线全反射法测量BiFeO3膜厚为120nm,计算其沉积速率为0.67nm/min.

著录项

  • 来源
    《化工管理》 |2018年第24期|192-193|共2页
  • 作者

    贾曦; 梅艳; 王君伟;

  • 作者单位

    乐山职业技术学院新能源工程系,四川 乐山 614000;

    乐山职业技术学院新能源工程系,四川 乐山 614000;

    浙江理工大学光电材料与器件中心,浙江 杭州 310018;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类
  • 关键词

    脉冲激光溅射; BiFeO3; 薄膜;

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