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用于在金属表面上产生抗蚀刻图案的方法

摘要

提供了在衬底上形成金属图案的方法。该方法包括向金属表面上施加具有使金属表面化学地活化的活化剂的化学表面活化溶液;在活化的表面上非击打式印刷抗蚀刻油墨以根据预定图案产生抗蚀刻掩模,其中抗蚀刻油墨内的至少一种油墨组分与活化的金属表面经历化学反应以当击中活化的表面时固定抗蚀刻油墨的液滴;进行蚀刻工艺以除去未被抗蚀刻掩模覆盖的未掩蔽的金属部分;和除去抗蚀刻掩模。

著录项

  • 公开/公告号CN108027553B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-12-31

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 柯狄公司;

    申请/专利号CN201680048035.X

  • 发明设计人 纳瓦·什帕斯曼;摩西·夫伦克尔;

    申请日2016-07-27

  • 分类号G03F1/92(20060101);H05K3/06(20060101);

  • 代理机构11652 北京坦路来专利代理有限公司;

  • 代理人索翌

  • 地址 美国加利福尼亚州

  • 入库时间 2022-08-23 12:53:42

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