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自适应周期波形控制器

摘要

本发明涉及自适应周期波形控制器。重复设定点生成器模块根据在连续时间间隔期间重复的预定模式而选择性地改变输出参数的设定点。闭环模块在时间间隔中的第一时间间隔期间,基于(i)所述时间间隔中的第一时间间隔期间设定点在N个时刻处的N个值与(ii)时间间隔中的第一时间间隔期间输出参数在N个时刻处的N个测量值之间的N个差而分别生成N个闭环值。调节模块在时间间隔中的第一时间间隔期间,基于(i)时间间隔中的第二时间间隔期间设定点在N个时刻处的N个值与(ii)时间间隔中的第二时间间隔期间输出参数在N个时刻处的N个测量值之间的N个差而分别生成N个调节值。

著录项

  • 公开/公告号CN110299277B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-12-31

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 MKS仪器有限公司;

    申请/专利号CN201910501067.6

  • 申请日2015-12-02

  • 分类号H01J37/32(20060101);

  • 代理机构11018 北京德琦知识产权代理有限公司;

  • 代理人梁洪源;康泉

  • 地址 美国马萨诸塞州

  • 入库时间 2022-08-23 12:53:32

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