公开/公告号CN110299277B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-12-31
原文格式PDF
申请/专利权人 MKS仪器有限公司;
申请/专利号CN201910501067.6
申请日2015-12-02
分类号H01J37/32(20060101);
代理机构11018 北京德琦知识产权代理有限公司;
代理人梁洪源;康泉
地址 美国马萨诸塞州
入库时间 2022-08-23 12:53:32
机译: 自适应周期波形控制器
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